仪器中文名称：

化学气相沉积系统

规格型号：

仪器英文名称：

PECVD

单位资产管理号：

20088091

所属类别：

□仪器   □√设备  □设施

仪器分类编码：

04060812

先进程度：

购置日期：

2001/12/1

制造厂商：

国    别：

　中国

供 货 商：

（可选填）

维 修 站：

（可选填）

维修站地址：

（可选填）

维修站电话：

（可选填）

原值金额(万元)：

币   种：

外币折合成当时的人民币值(万元):

46.36

其中：

中央财政资助人民币值（万元）

地方财政资助人民币值（万元）

其他人民币值（万元）

主要技术指标

主要附件

气源  排风系统  泠却水系统

功能/应用范围

主要用途：

1.□  1.科研 2.教学   3.行政执法技术保障 4.公共技术服务 5.生产控制 6.其他

服务领域：

1.□□（可多选）01.电子通讯 02.生物医药  03.化工 04.环保能源 05.轻工食品  06.农业  07.计算机及网络  08.新材料  09.机械冶金  10.其他_________        

所在研发基地：

（研发基地级别、名称）

每年可供对外服务(平均机时/年)：　

上年对外服务（机时）

每小时占用费(元):

300

收费标准（元/样品）

700

接待时间（工作日）：

星期二

仪器所在部门：

微电子技术专业

仪器操作应用人员：

共     人（至少填写一个）

姓名

学历

专业

职称

技术等级

有何擅长

赵晓锋

博士

研究生　

微电子技术专业　

副教授　

仪器设施联系人信息

姓名

赵晓锋

通讯地址

黑龙江大学电子工程学院

邮编

150080

电话

13845107688

传真

E-mail

zxf80310@126.com

技术特色

服务实例

仪器图片

（附电子版）