大型仪器设备详细情况表
法人单位名称*
黑龙江大学
法人机构代码*
12230000414002858L
仪器中文名称*
高真空物理沉积仪
规格型号*
JGP-DZS
仪器英文名称*
High vacuum physical deposition instrument
单位资产管理号*
20120161
仪器分类编码*
03060307
购置日期*
2010-12-1
仪器所在地区*
黑龙江 省 哈尔滨 市
是否进口*
□进口 √□国产 (单选)
生产国别*
美国
制造厂商*
中国科学院沈阳科学仪器研制中心
原值金额(万元)*
79.6
币 种*
人民币
外币折合成当时的人民币值(万元)*
拨款情况*
1.政府拨款
中央财政(万元)
省财政(万元)
市、区财政(万元)
2、自筹
3、其他
主要技术指标*
磁控室极限真空度:≤6.67x10-5 Pa;电子束及电阻蒸发室极限真空度:≤6.67x10-5 Pa;
系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S;系统从大气开始抽气,40分钟可达到6.6x10-4 Pa;
停泵关机12小时后真空度:≤5 Pa。
主要附件*
系统主要由溅射真空室、电子束及电阻蒸发室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量
功能/应用范围*
金属、合金以及氧化物薄膜制备。
仪器服务内容*
(按条列出)金属、合金以及氧化物薄膜制备。
仪器使用状态*
√□正常使用 □限制范围使用 □维修 (单选)
服务产业领域*
电子信息产业
服务行业类别*
微电子技术、无机非金属材料
所在研发基地类型*
□国家级重点实验室 □省部共建重点实验室 □省级重点实验室
□国家级工程技术研究中心 □省级工程技术研究中心 □企业技术研发中心
□其他 √□无 (单选)
所在研发基地名称*
接待时间(工作日)*
周一到周五
收费标准(元)*
面议
仪器所在部门*
黑龙江大学电子工程学院
仪器设施联系人信息
姓名*
张辉军
通讯地址*
哈市南岗区学府路74号
邮编*
150080
电话*
13796665129
传真
E-mail*
Sma-zhang@126.com
仪器图片*
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