仪器中文名称*

高真空物理沉积仪

规格型号*

JGP-DZS

仪器英文名称*

High vacuum   physical deposition instrument

单位资产管理号*

20120161

仪器分类编码*

03060307

购置日期*

2010-12-1

仪器所在地区*

    黑龙江          省    哈尔滨      市

是否进口*

□进口    √□国产  （单选）

生产国别*

美国

制造厂商*

　中国科学院沈阳科学仪器研制中心

原值金额(万元)*

79.6

币   种*

人民币

外币折合成当时的人民币值(万元)*

79.6

拨款情况*

1.政府拨款

中央财政（万元）

省财政（万元）

市、区财政（万元）

2、自筹

3、其他

79.6

主要技术指标*

磁控室极限真空度：≤6.67x10^-5   Pa；电子束及电阻蒸发室极限真空度：≤6.67x10^-5 Pa；

系统真空检漏漏率：≤5.0x10^-7   Pa.l/S；系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10^-4 Pa；

停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa。

主要附件*

系统主要由溅射真空室、电子束及电阻蒸发室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量

功能/应用范围*

金属、合金以及氧化物薄膜制备。

仪器服务内容*

（按条列出）金属、合金以及氧化物薄膜制备。

仪器使用状态*

√□正常使用    □限制范围使用    □维修   （单选）

服务产业领域*

电子信息产业

服务行业类别*

微电子技术、无机非金属材料

所在研发基地类型*

□国家级重点实验室    □省部共建重点实验室   □省级重点实验室

□国家级工程技术研究中心    □省级工程技术研究中心   □企业技术研发中心

□其他    √□无   （单选）

所在研发基地名称*

接待时间（工作日）*

周一到周五

收费标准（元）*

面议

仪器所在部门*

黑龙江大学电子工程学院

仪器设施联系人信息

姓名*

张辉军

通讯地址*

哈市南岗区学府路74号

邮编*

150080

电话*

13796665129

传真

E-mail*

Sma-zhang@126.com

仪器图片*