原子沉积系统（化学化工与材料学院）

仪器中文名称*

原子沉积系统

规格型号*

Picosun R-200 Std

仪器英文名称*

Atomic Deposition System

单位资产管理号*

20210021

仪器分类编码*

011299

购置日期*

2021年

仪器所在地区*

黑龙江 省 哈尔滨 市

是否进口*

√进口 □国产 （单选）

生产国别*

芬兰

制造厂商*

Picosun Oy

原值金额(万元)*

20.2

币 种*

欧元

外币折合成当时的人民币值(万元)*

151.3

拨款情况*

1.政府拨款

中央财政（万元）

省财政（万元）

151.3

市、区财政（万元）

2、自筹

3、其他

主要技术指标*

一、 货物明细及技术需求

1. 适用于标准实验室环境，温度：20-25℃，相对湿度：<70%。

适于实验室供电系统， 380-400VAC（±10％），50Hz,   三相五线制 。

2. 可生长Al2O3，Pd，Pt等薄膜。中标单位提供TMA 50g,Pd源5g,Pt源5g,Fe源10g。

3. 最大容纳8英寸衬底且兼容粉末及3D样品，3D样品高度不低于30mm。

4. 腔体采用双腔体（真空腔+反应腔）结构, 反应腔安装于真空腔内部。所有加热元件均安装于反应腔外部。反应腔为全热壁，加热方式采用外部环绕对称式辐射加热模式，以确保反应腔内部在任何位置上温度的一致性。

5．衬底与反应腔各部位均可被加热至500℃，温控精度±1℃。腔室采用空气冷却，无需水冷系统，防止回路阻塞导致腔体过热，造成安全隐患。

6. ALD反应腔及真空腔均配有压强传感器，反应腔压强传感器测量范围0-100hpa，真空腔体压强传感器测量范围为0-1040hpa。ALD工艺运行时，真空腔体的压强范围在7-15hpa，始终比反应腔体压强高，防止前驱体外泄到真空腔。

7. 前驱体气流在衬底上的流动模式：通过Showerhead自上而下流经样品表面。

8. 设备配置4条完全独立的源管线对应反应腔体上4个完全独立且均匀分布的源入口。每一条源管线均配有压力传感器和质量流量控制计（MFC）。各条源管路上的质量流量控制计（MFC）的测量范围满足0-500 sccm，流速均可预设；各条源管路上的压强传感器测量范围满足0-100hpa。

9. 为确保在ALD 阀切断后ALD阀和反应腔之间的管路内没有前躯体残留，减少或避免对前驱体管路的清洗维护，在设备的前驱体管路系统中配置在线自动净化系统。须提供说明文件以解释惰性气体在线净化系统的工作原理。

10. 2条常温源脉冲系统，常温源瓶容积不小于150ml。每个常温源装置须配制质量流量控制计（MFC）、压力传感器、气动脉冲阀及帕尔贴温度控制系统，控温精度为±1℃。

11. 1条气态源脉冲系统，包含脉冲阀，质量流量控制计（MFC），压力传感器，VCR金属连接器，电抛光不锈钢管路。

12. 2条加热源脉冲系统，加热温度不低于200℃，容积不小于50ml，温度控制精度±1℃。加热源装置须配制质量流量控制计（MFC）、压力传感器、气动脉冲阀及温度控制系统，控温精度为±1℃。

13. 真空泵要求: 原装进口干式真空泵, 抽速不小于500m³/h。

14. 配备粉末沉积腔和扩散增强器。

15. 配备颗粒捕捉器和后燃阱。

16. 使用工业级触摸屏电脑操作

17. 设备上有预警灯及紧急关闭按钮。软硬件有互锁设计。

18. 软件要求

操作界面友好，无需使用编程语言，具备程序储存、读取功能，能够输出实验数据，显示24个小时内设备系统各部分参数的时间趋势图，包括各部分质量流量、温度、压强的时间趋势图，用于监测设备稳定性；沉积过程中监测显示每个源管路的脉冲压强，显示脉冲压强与时间关系图，用于监测脉冲稳定性

主要附件*

1)原子层沉积系统主机（含真空腔，样品架升降台，电子控制系统） 1套

2)触摸屏电脑 1台

3)反应腔 1套

4)常温源脉冲系统 2套

5)气体源脉冲系统（O₂ ） 1套

6)加热源脉冲系统 2套

7)颗粒捕捉器(后燃阱) 1套

8)真空泵 1套

9)扩散增强器 1套

10)粉末沉积腔 1套 11）加热源瓶 1套

12)5g Pt源 13)5g Pd源 14)10g Fe源 15）50g   TMA源

功能/应用范围*

适用于薄膜材料的制备

仪器服务内容*

薄膜表面沉积铂、金原子层、粒子。

仪器使用状态*

□正常使用 √限制范围使用 □维修 （单选）

服务产业领域*

CY08新材料产业

服务行业类别*

B005纳米及超细材料

所在研发基地类型*

□国家级重点实验室 √省部共建重点实验室 □省级重点实验室

□国家级工程技术研究中心 □省级工程技术研究中心 □企业技术研发中心

□其他 □无 （单选）

所在研发基地名称*

功能无机材料化学教育部重点实验室

接待时间（工作日）*

每周二

收费标准（元）*

1500元/小时

仪器所在部门*

功能无机材料化学教育部重点实验室

仪器设施联系人信息

姓名*

王蕾

通讯地址*

哈尔滨市南岗区学府路74号综合实训楼812

邮编*

150000

电话*

15124574216

传真

E-mail*

wanglei0525@hlju.edu.cn

仪器图片*