化学气相沉积系统（化学化工与材料学院）

仪器中文名称*

化学气相沉积系统

规格型号*

PECVD-Y12II-4Z/G-F

仪器英文名称*

Chemical vapor deposition system

单位资产管理号*

20210104

仪器分类编码*

011299

购置日期*

2021.03.29

仪器所在地区*

黑龙江 省 哈尔滨 市

是否进口*

□进口 √国产 （单选）

生产国别*

中国

制造厂商*

天津中环电炉股份有限公司

原值金额(万元)*

36.7

币 种*

人名币

外币折合成当时的人民币值(万元)*

36.7

拨款情况*

1.政府拨款

中央财政（万元）

省财政（万元）

36.7

市、区财政（万元）

2、自筹

3、其他

主要技术指标*

1. 最高温度：1200℃

2. 加热区长度：420mm

3. 恒温区：280mm

4. 滑动方式：手动滑动/程序滑动

5. 冷却方式：样品区强风冷（可选）

6. 温度控制：708PA程序控温系统50段程序控温；精度：0.1级

7. 控制精度：±1℃

8. 气体控制方式：质量流量计

9. 气路数量：4路（可根据具体需要选配气路数量）

10.流量范围：氢气、氧气范围：0~100 sccm；甲烷: 0~200 sccm ；氮气: 0~500 sccm

11. 精度：±1%F.S

12. 响应时间：1sec

13. 工作温度：5-450℃

14. 工作压力：进气压力0.05-0.3Mpa(表压力）

15. 系统连接方式：采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

16.规格：真空系统

主要附件*

1. 1200度预加热区；

2. 1200度开启式双温区真空管式炉；

3. 滑动系统为电动式；

4. 等离子射频电源；

5. 四路质量流量控制系统；

6. 真空系统（高真空）。

功能/应用范围*

适用于薄膜及粉体材料的制备

仪器服务内容*

对薄膜及粉体材料进行表面处理

仪器使用状态*

□正常使用 √限制范围使用 □维修 （单选）

服务产业领域*

CY08新材料产业

服务行业类别*

B005纳米及超细材料

所在研发基地类型*

□国家级重点实验室 √省部共建重点实验室 □省级重点实验室

□国家级工程技术研究中心 □省级工程技术研究中心 □企业技术研发中心

□其他 □无 （单选）

所在研发基地名称*

功能无机材料化学教育部重点实验室

接待时间（工作日）*

每周二

收费标准（元）*

1200元/小时

仪器所在部门*

功能无机材料化学教育部重点实验室

仪器设施联系人信息

姓名*

王蕾

通讯地址*

哈尔滨市南岗区学府路74号综合实训楼812

邮编*

150000

电话*

15124574216

传真

E-mail*

wanglei0525@hlju.edu.cn

仪器图片*