仪器中文名称*

红外线掩模光刻机

规格型号*

M-1

仪器英文名称*

单位资产管理号*

20024744

仪器分类编码*

购置日期*

2002/12/18

仪器所在地区*

    黑龙江省       哈尔滨  市

是否进口*

√进口    □国产  （单选）

生产国别*

美国

制造厂商*

RESEARCH DEVICES

原值金额(万元)*

35

币   种*

人民币

外币折合成当时的人民币值(万元)*

拨款情况*

1.政府拨款

中央财政（万元）

省财政（万元）

市、区财政（万元）

2、自筹

3、其他

主要技术指标*

光刻精度1μm

主要附件*

电源 空压机 真空泵

功能/应用范围*

MEMS技术 微电子工艺

仪器服务内容*

双面光刻

仪器使用状态*

□正常使用    □限制范围使用    √维修   （单选）

服务产业领域*

新材料产业、电子信息产业

服务行业类别*

微电子技术、新型电子元器件

所在研发基地类型*

□国家级重点实验室    □省部共建重点实验室   □省级重点实验室

□国家级工程技术研究中心    □省级工程技术研究中心   □企业技术研发中心

□其他    □无     （单选）

所在研发基地名称*

接待时间（工作日）*

周一至周五

收费标准（元）*

面议

仪器所在部门*

微电子技术专业实验室（教学）

仪器设施联系人信息

姓名*

赵晓锋

通讯地址*

邮编*

电话*

86608457

传真

E-mail*

zxf80310@126.com

仪器图片*