半导体参数分析仪(电子工程学院)

仪器中文名称*

半导体参数分析仪

规格型号*

FS-Pro™

仪器英文名称*

Semiconductor Parameter analyzer 

单位资产管理号*

20230531

仪器分类编码*

20230531

购置日期*

2023年12月

仪器所在地区*

黑龙江  省   哈尔滨  市

是否进口*

□进口    √国产  （单选）

生产国别*

中国

制造厂商*

　概伦电子

原值金额(万元)*

22.9

币   种*

人民币

外币折合成当时的人民币值(万元)*

22.9

拨款情况*

1.政府拨款

中央财政（万元）

省财政（万元）

市、区财政（万元）

2、自筹

√

3、其他

主要技术指标*

（一）主机（控制器+模块化机箱为主机）：半导体参数分析系统，Win10操作系统。不小于500G固态（SSD）硬盘，包含测试软件。测试软件为图形化操作界面。

1.1 模块化机箱（FS373）：5槽PXI总线机箱；

1.2 控制器（PX500）：控制PC.

（二）1个FS380高精度测量单元SMU:高精度SMU（0.1fA测量分辨率，50us脉冲，200V，DC 1A，脉冲3A）

2.1可输出电压范围：不小于200V

*2.2最大直流电流：1A，最大脉冲电流：3A

*2.3电流测量分辨率≤0.1fA

*2.4 最大直流功率20W，最大脉冲功率不低于400W；

3. I-T测试能力。

3.1 I-T测试的最快采样率为1M

*3.2 数据存储容量不小于90000个点。

4.脉冲测试能力

4.1量程：±200V/3A

4.2最高输出功率不小于400W

4.3电流测量精度≤10pA

4.4脉冲宽度≤50us

*5.（未来可扩展）1/f noise噪声测试单元。

*5.1本底噪声：<2e-28A2/Hz

*5.2测试频率范围： 1Hz-100KHz，偏置电压200V/1A

6.测试软件要求：支持单个偏置或者批量的直流I-V，C-V和1/f噪声测量，用户只需要一次设定，程序就能自动完成测量。

主要附件*

2套标准3轴测试电缆，2米长（TX2）：标准3轴测试电缆，2米长.

功能/应用范围*

主要用于芯片的电流-电压参数测试，为二维材料、微纳电子与柔性电子学器件研究提供一个不可缺少的重要平台，能可以对微电子学科提供有力的支撑。

仪器服务内容*

（一）主机（控制器+模块化机箱为主机）：半导体参数分析系统，Win10操作系统。不小于500G固态（SSD）硬盘，包含测试软件。测试软件为图形化操作界面。

1.1 模块化机箱（FS373）：5槽PXI总线机箱；

1.2 控制器（PX500）：控制PC.

（二）1个FS380高精度测量单元SMU:高精度SMU（0.1fA测量分辨率，50us脉冲，200V，DC 1A，脉冲3A）

2.1可输出电压范围：不小于200V

*2.2最大直流电流：1A，最大脉冲电流：3A

*2.3电流测量分辨率≤0.1fA

*2.4 最大直流功率20W，最大脉冲功率不低于400W；

3. I-T测试能力。

3.1 I-T测试的最快采样率为1M

*3.2 数据存储容量不小于90000个点。

4.脉冲测试能力

4.1量程：±200V/3A

4.2最高输出功率不小于400W

4.3电流测量精度≤10pA

4.4脉冲宽度≤50us

*5.（未来可扩展）1/f noise噪声测试单元。

*5.1本底噪声：<2e-28A2/Hz

*5.2测试频率范围： 1Hz-100KHz，偏置电压200V/1A

6.测试软件要求：支持单个偏置或者批量的直流I-V，C-V和1/f噪声测量，用户只需要一次设定，程序就能自动完成测量。

仪器使用状态*

√正常使用    □限制范围使用    □维修   （单选）

服务产业领域*

CY11

服务行业类别*

A003

所在研发基地类型*

□国家级重点实验室    □省部共建重点实验室   √省级重点实验室

□国家级工程技术研究中心    □省级工程技术研究中心   □企业技术研发中心

□其他    □无   （单选）

所在研发基地名称*

黑龙江省微纳敏感器件与系统重点实验室

接待时间（工作日）*

周一至周五

收费标准（元）*

无

仪器所在部门*

电子工程学院

仪器设施联系人信息

姓名*

王璐

通讯地址*

黑龙江大学130信箱

邮编*

150080

电话*

18845025666

传真

E-mail*

wanglu@hlju.edu.cn

仪器图片*