1. 极限真空:分子泵系统时,优于2×10-4Pa(新设备) 2. 漏 率:6.7×10-8Pa·L/S 3. 工作真空:工作真空5×10-4Pa,从大气到工作真空时间小于40分钟(新设备冷态下) 4. 真空保压:极限后关机24小时后优于10Pa 5. 升华位:双管,双炉,双升华位方式。每管可以独立操作。 6. 石英管:外层管φ60mm,两层管结构,外层管密封,内层管升华。并有滤网防止粉尘随气流飘动。 7. 升华舟容积:5~10克, 8. 升华区温度:室温至600℃,连续可调;保温区温度:室温至600℃连续可调,恒温温差为± 1℃; 9. 温区:4温区。120/200/120/120, 10. 总功率:10KW; 11. 智能控制:人机界面加PLC控制。采用触摸屏人机智能控制,控制真空系统,自动调节流量,自动调节真空度,并有报警功能。 12. 提纯材料传递:手动装卸整体管,整体取出,取送方便,操作简单 13. 炉体移动:导轨滑块平移。 14. 炉体降温:炉体移开后,风扇对石英管进行降温。 15. 压强控制:流量计联动控制方式,真空计与PLC通讯,蒸发压强与进气量自动控制。 16. 内热偶:石英管内部的升华位,安装有升华位热偶。 17. 流量计:Ar标定。 18. 防湍功能:安装有毛细阀,毛细阀与主抽阀并联。 19. 三级过滤保护装置:分别采用多级微孔金属滤网、液氮(或冷却水)内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤粉尘沉积冷阱,防止真空系统污染。 20. 真空计:电阻规+玻璃管式电离规。电离规安装在内嵌式冷凝器上。 21. 观察:将炉体移开,方便观察。 22. 自动升华:采用分段温控表控制,可以设置不同的分段提纯程序。 |