金属有机蒸发设备(化学化工与材料学院)

仪器中文名称*

金属有机蒸发设备

规格型号*

QHV-R20型

仪器英文名称*

Metal organic evaporation equipment

单位资产管理号*

仪器分类编码*

A006

购置日期*

2021-7-26

仪器所在地区*

黑龙江            省         哈尔滨       市

是否进口*

√进口    R国产  （单选）

生产国别*

中国

制造厂商*

　沈阳奇汇真空技术有限公司

原值金额(万元)*

29.8

币   种*

人民币

外币折合成当时的人民币值(万元)*

29.8

拨款情况*

1.政府拨款

中央财政（万元）

省财政（万元）

29.8

市、区财政（万元）

2、自筹

3、其他

主要技术指标*

1. 极限真空：优于4×10-5Pa（新设备）

2. 漏 率：6.7×10-8Pa·L/S

3. 工作真空：5×10-4Pa，从大气到工作真空时间小于30分钟（新设备冷态下，充干燥N2）

4. 系统保压：系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa。

5. 样品尺寸：100×100mm

6. 样品托尺寸：106×116mm

7. 样品架与源表面距离：310mm

8. 蒸发源：金属源×3套。有机源×6套。

9. 样品架：电动旋转

10. 掩膜版库：5工位

11. 真空室开腔形式：手动前后大开门结构

12. 膜厚探头：水冷4只，客户指定位置。

13. 系统控制：全自动气动控制

14. 膜厚仪：四通道，共蒸发适用。

15. 手套箱：共用纯化，有独立的进排气系统，与现有手套箱进行非标对接。

16. 电源：金属蒸发电源×2套。有机蒸发电源×3套。

17. 其他：设备整体占地宽度不得大于900mm。

18. 真空室尺寸：内尺寸420×420×550mm。

19. 软件配置：自动抽真空，各种保护报警系统。

20. 真空获得系统：KYKY1200C+国产高性能机械泵系统。

主要附件*

主机、机械泵、冷水机

功能/应用范围*

这是一套金属有机热蒸发—沉积镀膜设设备，它是在高真空条件下，通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种金属、混合物单层或多层膜，主要用于金属和非金属材料的物理化学性能研究实验及金属材料的原理研究实验。

仪器服务内容*

（按条列出）1.蒸镀有机光电器件。2.有机材料比对。

仪器使用状态*

R正常使用    □限制范围使用    □维修   （单选）

服务产业领域*

多选（填写相应产业代码）CY03,CY07,

服务行业类别*

多选（填写相应行业代码）B003,B005,B006，C008

所在研发基地类型*

□国家级重点实验室    ☑省部共建重点实验室   □省级重点实验室

□国家级工程技术研究中心    □省级工程技术研究中心   □企业技术研发中心

□其他    □无   （单选）

所在研发基地名称*

功能无机材料化学教育部重点实验室

接待时间（工作日）*

周一-周五

收费标准（元）*

500-5000/次

仪器所在部门*

功能无机材料化学教育部重点实验室

仪器设施联系人信息

姓名*

段春波

通讯地址*

黑大实训楼1112

邮编*

150080

电话*

13613647470

传真

E-mail*

duanchunbo@hlju.edu.cn

仪器图片*